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为什么晶圆电镀完镍后要镀一层金?

06/14 08:25
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知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,点击加入)里的学员问:为什么在电镀完铜后,要在铜上镀镍,之后在镍上镀金?一般的电镀顺序?

电镀铜--》电镀镍--》电镀金--》电镀锡球四层金属结构的功能分工?

铜 Cu:导电层,低阻、便于电镀、便宜。镍Ni:扩散阻挡层,防止Cu扩散到金层、改善机械硬度。金 Au:抗氧化+提升焊接性,确保后续键合可靠性锡球:焊接在封装基板

为什么镍上要镀金?

镍本身易在空气中生成氧化层,这个氧化层是绝缘层 ,会影响镍与锡球焊接的稳定性。镀上一层金,就像在镍表面穿上一层抗氧化盔甲。当最后镀锡球时,金会被锡球吞没,锡球能与金属镍形成稳定的焊接。

为什么有些是镍钯金?

钯类似于金的效果,只不过之前钯的价格比金低,用来替代金,那么金只用镀很薄的一层。如有需要1.2L全套微型电镀槽如下图,可联系Tom

目前我们有cmp,光刻,镀膜,键合,量检测的技术群,如需进群,请加Tom微,防失联:

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