知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,点击加入)里的学员问:TGV转换板在电镀填充完金属之后,需要怎样验证填充的质量呢?
TGV的可靠性实验有哪些?
1,热循环测试(Thermal Cycling Test)
2,有偏压高加速寿命测试(Biased?Highly Accelerated Stress?Test)
3,直流导通性测试热循环测试
目的:评估 Cu TGV 与玻璃之间界面在热胀冷缩循环下的可靠性;
测试条件:
温度范围:-40°C 到 +125°C
循环次数:0, 500, 1000 cycles
检测指标:
TGV与金属布线的导通率;
TGV链的中位电阻值变化;
代表性结果:
即使经过1000次热循环,TGV依然保持100%的导通率;
电阻略有上升但保持在合理范围。
有偏压高加速寿命测试
测试条件:
温度:130°C,湿度:85% RH,偏压:±5V,时间:96 小时
测试目的:
模拟极端使用环境,观察以下潜在失效:
铜迁移→ 导致金属桥接、电阻降低;
电解腐蚀?→ 导致金属断裂、可靠性下降;
介电击穿?→ 电绝缘失效;
钝化层/界面老化
直流导通性测试
目的:验证多个TGV链之间的电气连接完整性;方式:在做完上述两个测试后,采用多个TGV daisy chain测试;
检测指标:金属填充一致性;是否有开路或短路缺陷;电阻变化是否在容忍范围。
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