140GHz MEMS 矩形波导滤波器设计

恋上你的芯

设计并实现了一种采用微机械制造(MEMS)技术加工的D波段矩形波导膜片滤波器．采用有限元仿真软件HFSS分析了滤波器内腔镀膜厚度、粗糙度以及感性膜片‘厚度对滤波器主要性能的影响．采用MEMS深刻蚀工艺(DRIE)成功加工出了滤波器主体结构．通过完成结构深刻蚀、金属电镀和键合等关键工艺，首次制造出了D波段MEMS波导滤波器．样品测试结果为插入损耗0．4—0．7 dB，中心频率(140±3)GHz，带外抑制为≥18 dB，样品主要技术指标与设计值符合．

xuanwoyingmu

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